应用邻域：半导体和平板显示器制造设施中的离子植入器、 干燥蚀刻机和 CVD 机器的冷却。 测试设备该流体可用于冷却半导体热冲击和测试设备。超级计算机和敏感军事电子的直接接触单相和双相冷却。